GB-T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

书书书犐犆犛２９．０４５犎８０中华人民共和国国家标准犌犅／犜４０６１ — ２００９代替ＧＢ４０６１ — １９８３硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法犘狅犾狔犮狉狔狊狋犪犾犾犻狀犲狊犻犾犻犮狅狀犲狓犪犿犻狀犪狋犻狅狀犿犲狋犺狅犱犪狊狊犲狊狊犿犲狀狋狅犳狊犪狀犱狑犻犮犺犲狊狅狀犮狉狅狊狊狊犲犮狋犻狅狀犫狔犮犺犲犿犻犮犪犾犮狅狉狉狅狊犻狅狀２００９  １０  ３０发布２０１０  ０６  ０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布书书书前　　言　　本标准代替ＧＢ４０６１ — １９８３《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》。本标准与原标准相比，主要有如下改动： ——— 增加了 “ 术语 ”、“ 试剂与器材 ”； ——— 增加了 “ 检验报告 ” 内容； ——— 对试样尺寸的切取方向和试样处理内容增加了要求。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准起草单位：洛阳中硅高科技有限公司。本标准主要起草人：袁金满。本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— ＧＢ４０６１ — １９８３。 Ⅰ 犌犅／犜４０６１ — ２００９

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本文档由人生无常于 2025-02-21 14:23:58上传分享