Entwurf DEUTSCHENORM Juni2015 DIN DINISO14999-4 ICS 37.020 Einspruche bis 2015-07-22 VorgesehenalsErsatzfur DIN ISO 14999-4:2008-12 Entwurf Optik und Photonik - Interferometrische Messung von optischen Elementen und Systemen - Teil 4: Interpretation und Beurteilung der Toleranzen nach IsO 10110 (ISO/FDIS 14999-4:2015); Text Deutsch und Englisch Optics and photonics - Interferometric measurementof opticalelementsand opticalsystems Part 4: Interpretation and evaluation of tolerances specified in iso 10110 (ISO/FDIS 14999-4:2015); Text in German and English Optique etphotonique- Mesurageinterferometriquedecomposantsetdesystemesoptiques Partie 4: Directives pour I'evaluation des tolerances spécifiées dans I'lsO 10110 (ISO/FDIS14999-4:2015); Texte en allemand et anglais Anwendungswarnvermerk Dieser Norm-Entwurf mit Erscheinungsdatum 2015-05-22 wird der Offentlichkeit zur Prufung und Stellungnahme vorgelegt. Weil die beabsichtigte Norm von der vorliegenden Fassung abweichen kann, ist die Anwendung dieses Entwurfes besonders zuvereinbaren. Stellungnahmen werden erbeten vorzugsweise online im Norm-Entwurfs-Portal des DIN unter www.entwuerfe.din.de bzw. fur Norm- Entwurfe der DKE auch im Norm-Entwurfs-Portal der DKE unter www.entwuerfe.normenbibliothek.de, sofern dort wiedergegeben; oder als Datei per E-Mail an [email protected] moglichst in Form einer Tabelle. Die Vorlage dieser Tabelle kann im Internet unter www.din.de/stellungnahme oder fur Stellungnahmen zu Norm-Entwurfen der DKE unter www.dke.de/stellungnahme abgerufen werden; oder in Papierform an den DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) (Hausanschrift: Alexander-Wellendorff-Str. 2, 75172 Pforzheim). Die Empfanger dieses Norm-Entwurfs werden gebeten, mit ihren Kommentaren jegliche relevanten Patentrechte, die sie kennen, mitzuteilen und unterstutzende Dokumentationen zur Verfugung zu stellen Gesamtumfang 65 Seiten DIN-Normenausschuss Feinmechanik undOptik (NAFuO) Entwurf- EDINISO14999-4:2015-06 Inhalt Seite Nationales Vorwort. Nationaler Anhang NA(informativ)Literaturhinweise. Einleitung... ..6 1 Anwendungsbereich 2 NormativeVerweisungen. 3 Begriffe ... 6 3.1 Mathematische Definitionen... .6 3.2 DefinitionenvonoptischenFunktionen.. 3.3 Definitionen von Werten basierend auf den in 3.2 definierten optischen Funktionen .... 9 3.4 Definition von Zernike-Polynomen ..... 3.5 Definitionen der Funktionen und Terme fur Anstiegsabweichungstoleranzen ...... 12 3.6 Definition der Toleranzen fur die Anstiegsabweichung ...... 4 Bestimmung von Oberflachenformabweichungen oder Wellenfrontdeformationen aus den interferometrischen Messungen .... 4.1 Prufbereiche... 17 4.2 GroBen....... 4.3 Wellenfrontdeformationenfureinfachen Durchgang (en: single-pass) 17 4.4 WellenfrontdeformationenfurdoppeltenDurchgang (en:double-pass) 17 4.5 Oberflachenformabweichung.............. 17 4.6 Umrechnung in andere Wellenlangen.... 5 Darstellung der gemessenen Wellenfrontabweichungen mittels Zernike-Koeffizienten.. 6 Tolerierung der Anstiegsabweichung .... 6.1 Eindimensionale Messung der Anstiegsabweichung... 19 6.2 zweidimensionale Messung der Anstiegsabweichung.... 21 Anhang A (normativ)Visuelle Interferogrammauswertung ... A.1 Allgemeines.......... 23 A.1.1 Vorbemerkungen ... 23 A.1.2 Interferometrische Kippung (Keilinterferenzen).. 23 A.1.3 Bestimmungdes Vorzeichens derDeformation. 23 A.2 ErmittlungderPower-Abweichung undderUnregelmaBigkeit.... 24 A.2.1 Allgemeines... A.2.2 Auswertung von Interferogrammen ohne Kippung 24 A.2.3 Auswertung von Interferogrammen mit Kippung.... 26 A.2.4 UngewohnlicheFormenderUnregelmasigkeit. 27 A.3 Bestimmungder rotationsinvarianten UnregelmaBigkeit.. 28 A.4 NichtkreisformigePrufbereiche.. 29 A.5 Zielaberrationen.... Anhang B (normativ)Zernike-Polynome.... 2 -Entwurf- EDINISO14999-4:2015-06 Nationales Vorwort DiesesDokument(ISO/FDIS14999-4:2015) wurdevom TechnischenKomiteeI ISO/TC 172/SC 1 ,Fundamental standards"(Sekretariat:DIN,Deutschland) unter Beteiligung deutscher Expe