ICS 25.100.99 J 41 ZZB 浙江制造团体标准 T/ZZB 0594—2018 硅片用电镀金刚石切割线 Electroplated diamond wire for silicon chips 2018 - 10 - 12发布 2018 - 10 - 31实施 浙江省品牌建设联合会 发布 ZHEJIANG MADET/ZZB 0594 —2018 I 目 次 前言 ................................................................................ II 1 范围 .............................................................................. 1 2 规范性引用文件 .................................................................... 1 3 术语和定义 ........................................................................ 1 4 产品规格 .......................................................................... 2 5 基本要求 .......................................................................... 2 6 技术要求 .......................................................................... 3 7 试验方法 .......................................................................... 4 8 检验规则 .......................................................................... 7 9 标志、包装、运输、贮存 ............................................................ 8 10 质量承诺 ......................................................................... 8 ZHEJIANG MADET/ZZB 0594 —2018 II 前 言 本标准依据GB/T 1.1 —2009给出的规则起草。 本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：浙江东尼电子股份有限公司。 本标准参与起草单位：惠丰钻石科技股份有限公司、汇富贸易有限公司、湖州师范学院、湖州电子 信息化学会（排名不分先后）。 本标准主要起草人：陈泉强、北川喜明、沈金雀、李鹏程、刘忠煌、唐方明、蔡晓良、薛宇、李波 波、臧运超、程冠博。 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司负责解释。 ZHEJIANG MADET/ZZB 0594 —2018 1 硅片用电镀金刚石切割线 1 范围 本标准规定了硅片用金刚石切割线的术语和定义、产品规格、基本要求、技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输、贮存及质量承诺。 本标准适用于标称直径为0.065 mm、0.060 mm、0.055 mm的硅片用电镀金刚石切割线（以下简称金 刚石切割线）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件， 仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 341 钢丝分类及术语 GB/T 6405 人造金刚石和立方氮化硼 品种 GB/T 11181 子午线轮胎用钢帘线 GB/T 23847 电镀用氨基磺酸镍 GB/T 33159 钢帘线试验方法 GB/T 34983 光伏用树脂金刚石切割线 JB/T 12543 超硬磨料制品 电镀金刚石线 ROHS (EU)2015/863 指令 欧盟《电气、电子设备中限制使用某些有害物质指令》 REACH(EC)1907/2006 法规 欧盟《化学品的注册、评估、授权和限制》 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 电镀金刚石切割线 electroplated diamond wire 将金刚石微粉通过电沉积的方法固结于镀铜钢丝表面而制成的一种切割线。 3.2 镀铜钢丝 c oppered steel wire 生产电镀金刚石切割线所需要的基体。 3.3 金刚石微粉 d iamond powed 由人造金刚石经过粉碎、整形处理，采用特殊工艺制备的超细颗粒。 3.4 ZHEJIANG MADET/ZZB 0594 —2018 2 砂量及分布 d iamonds quantity and distribution 每毫米金刚石切割线上单侧的金刚石微粉的数量及整体分布。 3.5 破断力 breaking force 在规定条件下给试样金刚石切割线施加负荷直至破断，试样所能承受的最大拉力。 [GB/T 11181 —2016,定义3.10] 3.6 圈径 circle diameter 试样金刚石切割线在不受外力的情况下自然垂落，在水平面上自然成圈，此圈的最小直径为圈径。 3.7 翘距 waping distance 试样金刚石切割线在不受外力的情况下自然垂落，在水平面上自然成圈，此圈的首尾端翘起到水平 面的最大垂直距离。 3.8 电镀层附着性 electrodeposited coating adhesion 电镀的镍层与镀铜钢丝的附着性能。 4 产品规格 金刚石切割线产品规格见表1 。 表1 产品规格 标称直径D mm 母线直径D mm 微粉粒径D50 μm 产品外径D mm 0.065 0.065±0.001 6～12 0.081±0.004 0.060 0.060±0.001 6～12 0.076±0.004 0.055 0.055±0.001 6～12 0.070±0.005 5 基本要求 5.1 研发设计 5.1.1 应具备材料甄别、工艺设计、数据收集及过程分析的能力。 5.1.2 应具备根据不同的切割条件、切割工艺，对原材料、生产工艺等进行设计调整的能力。 5.2 原材料 5.2.1 镀铜钢丝 镀铜钢丝应符合GB/T 341 的规定，达到高碳钢丝、高强度钢丝的标准，且符合表2 的规定。 ZHEJIANG MADET/ZZB 0594 —2018 3 表2 镀铜钢丝 项目 指标 线径，mm 0.065±0.001 0.060±0.001 0.055±0.001 抗拉强度，Mpa ≥4350 ≥4400 ≥4500 5.2.2 金刚石微粉 金刚石微粉品种应符合GB/T 6405 的规定，选用人造金刚石MBD，金刚石微粉粒径应符合表3 的规定。 表3 金刚石微粉 项目 指标 D50,μm 6～12 粒径范围, μm 4～18 5.2.3 氨基磺酸镍 氨基磺酸镍应符合GB/T 23847 的规定，且达到ROHS 指令要求。 5.3 工艺与装备 5.3.1 电镀生产应采用连续、复合电镀工艺。 5.3.2 应采用具备自动放线、酸碱处理、连续电镀、复合电镀、高温清洗、高温除氢、自动卷绕等能 力的多功能一体化设备。 5.3.3 应采用具备全程 CCD图像监控、数据收集、异常识别等能力的制程监测系统。 5.4 检测能力 5.4.1 应具备对原材料镀铜钢丝、金刚石微粉、氨基磺酸镍的基本性能指标的检验能力。 5.4.2 应具备金刚石切割线生产过程砂量在线监测能力。 5.4.3 应具备砂量分布、镀层厚度、破断力、镀层附着性等出厂检验能力。 6 技术要求 6.1 外观质量 6.1.1 金刚石切割线镀层不应高于金刚石微粉。 6.1.2 金刚石切割线镀层不应有起皮、剥落、烧焦和漏镀的现象。 6.1.3 金刚石切割线镀层表面平整、色泽均匀、无锈蚀、无划痕、无斑点、无镍瘤、无鼓泡等现象。 6.2 砂量及分布 6.2.1 金刚石切割线表面金刚石微粉堆积颗粒要求少于 10颗，在0.5 mm内不允许出现无金刚石微粉 的空档。 6.2.2 金刚石切割线的砂量应符合表 4的规定。 ZHEJIANG MADET/ZZB 0594 —2018 4 表4 砂量及分布 标称直径D mm 砂量分布 pcs/mm 中心值 下限 上限 0.065 70～110 ≥50 ≤140 0.060 0.055 注：客户特殊要求按照合同执行。 6.3 外径及公差 金刚石切割线的外径与公差应符合表5 的规定。 表5 外径及公差 标称直径D mm 产品外径D mm 公差 m