ICS77.040.30 CCSH15 中华人民共和国国家标准 GB/T43603.2—2024 镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分:镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、 钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅 含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 Methodsforchemicalanalysisofnickel-platinumtargetalloys— Part2:Determinationofmagnesium,aluminium,titanium,vanadium, chromium,manganese,iron,cobalt,copper,zinc,zirconium,silver,palladium, tin,samarium,lead,siliconcontents— Inductivelycoupledplasmamassspectrometry 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件是GB/T43603《镍铂靶材合金化学分析方法》的第2部分。GB/T43603已经发布了以下 部分: ———第1部分:铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法; ———第2部分:镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合 等离子体质谱法; ———第3部分:碳含量的测定 高频红外检测法。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国有色金属工业协会提出。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本文件起草单位:贵研铂业股份有限公司、贵研检测科技(云南)有限公司、北京有色金属与稀土应 用研究所有限公司、有研亿金新材料有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、国标(北京)检 验认证有限公司、北矿检测技术股份有限公司、铜陵有色金属集团控股有限公司、大冶有色设计研究院 有限公司、紫金铜业有限公司、南京市产品质量监督检验院(南京市质量发展与先进技术应用研究院)、 山西北方铜业有限公司、广东省科学院工业分析检测中心。 本文件主要起草人:李秋莹、赵万春、王传军、朱武勋、孙祺、何姣、方海燕、汪原伊、姚芳、鲍叶琳、 何剑文、张强、孙梦荷、王洋、郑佩、黄路路、高瑞峰、昝敏娇、陈晓东、廖桂平、肖红新、严鹏、潘晓玲、 刘芳美、张梦甜、刘朝方。 ⅠGB/T43603.2—2024 引 言 镍铂靶材合金广泛应用于半导体工业,是保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料,不同 铂含量的镍铂靶材合金具有特殊的组织和性能,在半导体制造工艺中发挥了重要作用,而镍铂靶材合金 的杂质成分直接关系镍铂靶材合金的溅射性能。因此,镍铂靶材合金的化学成分分析显得尤为重要; GB/T43603根据检测对象和检测手段的不同,拟由三个部分构成。 ———第1部分:铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法。目的在于规定镍铂靶材合金 中铂含量测定的电感耦合等离子体原子发射光谱法及适用的测定范围; ———第2部分:镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合 等离子体质谱法。目的在于规定镍铂靶材合金中镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、 钯、锡、钐、铅、硅含量测定的电感耦合等离子体质谱法及适用的测定范围; ———第3部分:碳含量的测定 高频红外检测法。目的在于规定镍铂靶材合金中碳含量测定的高 频红外检测法及适用的测定范围。 上述各部分文件通过明确适用范围、规范试剂、材料、试验设备和步骤,并经过多家实验室反复试验 和验证给出精密度数据,增强了不同实验室之间数据的一致性和可比性,为检验镍铂靶材合金的品质建 立严谨、规范的标准化基础。 ⅡGB/T43603.2—2024