ICS 29.020 J 09 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T5226.33—2017/IEC60204-33:2009 机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件 Electrical safety of machineryElectrical equipment of machines- Part33:Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electrical equipmentof machines- Part 33:Requirements for semiconductorfabrication equipment,IDT) 2017-10-14发布 2018-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会

GB-T 5226.33-2017 机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件

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