ICS 13.060.25 CCS P 41 DB 11 北 京 市 地 方 标 准 DB11/T 1764.8—2021 用水定额 第 8 部分：集成电路 Norm of water intake—Part 8: Integrated circuit 2021 - 12 - 28 发布 北京市市场监督管理局 2022 - 04 - 01 实施 发 布 DB11/T 1764.8—2021 目 次 前 言................................................................................. II 1 范围................................................................................. 1 2 规范性引用文件....................................................................... 1 3 术语和定义........................................................................... 1 4 计算方法............................................................................. 1 5 用水定额............................................................................. 2 6 管理要求............................................................................. 2 附录 A （资料性） 北京市集成电路制造企业年度用水信息表 ................................. 4 I DB11/T 1764.8—2021 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起 草。 本文件是DB11/T 1764《用水定额》的第8部分。DB11/T 1764已经发布了以下部分： ——第2部分：蔬菜和中药材； ——第13部分：白酒和啤酒； ——第15部分：整车制造； ——第16部分：中成药； ——第18部分：水泥； ——第19部分：乳制品； ——第20部分：调味品与发酵制品； ——第22部分：焙烤食品； ——第28部分：机关； ——第30部分：洗车； ——第32部分：餐饮； ——第35部分：高尔夫球场； ——第39部分：地铁站； ——第40部分：客运站； ——第42部分：居民生活。 本文件由北京市经济和信息化局和北京市水务局提出并归口。 本文件由北京市经济和信息化局和北京市水务局组织实施。 本文件起草单位：中国航空综合技术研究所、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、北京燕东 微电子有限公司、赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司、瑞萨半导体(北京)有限公司、威讯联合半导 体(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、北京市通州区水资源与节约用水事务中心、 中国标准化研究院。 本文件主要起草人：贾爱娟、李鹤、李亚健、马传辉、冯铁成、崔妍、蔺增金、葛明、赵延明、徐 伯珺、魏会敏、齐红、王雨欣、王雪琪、翟光耀、王晶、白雪、白岩、胡梦婷。 II DB11/T 1764.8—2021 用水定额 第 8 部分：集成电路 1 范围 本文件规定了集成电路用水定额的计算方法、用水定额和管理要求。 本文件适用于集成电路制造企业的用水管理。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 12452 企业水平衡测试通则 DB11/T 343 节水器具应用技术标准 DB11/T 1769 用水单位水计量与统计管理规范 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 芯片制造 chip manufacturing 将硅片制成集成电路芯片成品的过程。 注： 芯片制造工艺过程主要包括硅片研磨、清洗、薄膜电极、均胶、光刻、显影、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、 扩散/离子注入、气相沉积（包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD））、金属化、化学机械抛光(CMP) 等，经过多次类似的工艺加工过程，形成晶体管等元器件图形结构，并通过金属化连接以构成某种预期的功能， 通过测试最终成为集成电路芯片成品。 封装 package 将集成电路芯片封装成集成电路成品的过程。 注： 封装工艺过程主要包括对晶圆成品进行来料检查、贴膜、磨片、贴片、划片成为单芯片，并对单芯片进行装片、 键合、塑封/固化、打印/切筋、切割、引线电镀，通过测试检验最终成为集成电路成品。 4 计算方法 取水水源 1 DB11/T 1764.8—2021 取水水源包括自来水、自备井水、市政再生水，以及从市场购得的其他水或水的产品（如蒸汽、热 水、地热水等）。 取水量供给范围 4.2.1 集成电路取水量包括芯片制造取水量和封装取水量。 4.2.2 芯片制造取水量的供给范围包括主要生产用水（包括工艺设备用水、工艺冷却用水等）、辅助 生产用水（包括废气洗涤塔用水、POU 净化循环系统用水、冷却塔补水用水、空调系统用水等）和附属 生产用水（包括办公生活用水、食堂用水、绿化用水等），不包括外供水、基建用水、消防用水和生活 区用水。 4.2.3 封装取水量的供给范围包括主要生产用水（包括工艺设备用水、工艺冷却用水等）、辅助生产 用水（包括冷却塔补水用水、空调系统用水等）和附属生产用水（包括办公生活用水、食堂用水、绿化 用水等），不包括外供水、基建用水、消防用水和生活区用水。 单位产品取水量 单位产品取水量按式（1）计算： Vui = Vi ········································································· （1） Q 式中： Vui——单位产品取水量，芯片制造产品单位为立方米每片（m3/片），封装产品单位为立方米每万 3 块（m /万块）； Vi ——在一定计量时间内的取水量，单位为立方米（m3）； Q——在同一计量时间内的合格产品产量，芯片制造产品单位为片，封装产品单位为万块。 5 用水定额 表1规定了集成电路用水定额。 表1 集成电路用水定额 产品类别 芯片制造产品 封装产品 c 产品规格 单位 65nm及以上线宽 m /片 60nm～20nm线宽 - 先进值 7.2 8.6 3 m /片 8.1 11.5 3 4.6 6.4 先进值用于新建（改建、扩建）企业的水资源论证、取水许可审批和节水评价。 b 通用值用于现有企业的日常用水管理和节水考核。 c 芯片制造产品是指300mm（12英寸）芯片制造产品。 6 管理要求 2 通用值 3 m /万块 a 单位产品取水量 a b DB11/T 1764.8—2021 再生水输配水管线覆盖地区内，满足使用要求的，应使用再生水。 用水计量器具的配备和管理应符合 DB11/T 1769 的要求。 企业水平衡测试应符合 GB/T 12452 的要求。 节水型生活用水器具应符合 DB11/T 343 的要求，安装率应达到 100%。 集成电路制造企业应每年统计用水信息，年度用水信息统计参见附录 A。 3 DB11/T 1764.8—2021 A A 附 录 A （资料性） 北京市集成电路制造企业年度用水信息表 北京市集成电路制造企业年度用水信息表见表A.1。 表A.1 北京市集成电路制造企业年度用水信息表 填表日期： 年 月 日 单位名称 填表部门 水量计算起止时间 联系人 联系电话 一、基本信息 产品名称 产品规格 投产时间 占地面积 m2 职工人数 人 建筑面积 m2 产线数 条 绿化面积 m2 年产能 片（万块） 宿舍面积 m2 本年度年产量 片（万块） 下一年计划产量 片（万块） 二、设施情况 循环冷却水设备 £有 £无 循环利用率 废水处理设施 £有 £无 设计处理量 实际年废水总量 雨水收集利用设施 m3 £有 £无 % m3/d 废水处理回用率 % 蓄水池容积 m3 三、用水信息 分水源年取水量 自来水 m3 主要生产用水 m3 自备井水 m3 辅助生产用水 m3 市政再生水 m3 附属生产用水 m3 其他 m3 外供水 m3 总计 m3 总计 m3 分用途年用水量 四、备注 （单位盖章） 4